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“微秒”伺服多线切割机成功案例介绍

2020年05月18日09:58 

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,简称“线锯”,钢丝上的磨料颗粒与工件材料之间是摩擦切割原理,磨料颗粒直接作用在工件材料之上,并一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法,大大提高切割速度。

基于高精度高速低耗切割控制关键技术研发的高精度数控多线高速切割机床,可全面实现对半导体材料及各种硬脆材料的高精度、高速度、低损耗切割,填补了国内空白;成果具有多项自主知识产权,整体技术达到国际先进水平,其中切割线的张力控制技术、收放线电机和主电机的同步技术居于国际领先水平。
多线切割技术可被用于切割脆硬材料,如硅锭等,此外也可用于分割难切削的材料。该工艺具有以下的优点:
(1)适合于分割硬脆或难以切削的材料
(2)几何缺陷少(TTV,弓曲,偏差等)
(3)晶体缺陷深度小
(4)可切割直径至300mm的硅锭
(5)经济效益高,一次可切割几百个晶片


一、原控制方式及外部接线

汇川整套方案是PLC运动控制AM600-CPU1608TN来编程完成。以实现比较复杂的运动。9轴EtherCAT总线伺服,我们再看看汇川的型号配置情况。



二、现硬件及设备接线情况

1、系统由微秒9个伺服轴进行同步控制,主轴驱动是一个较大的伺服电机,放线、收线、进给、放线,排线均采用伺服电机来驱动,以便能够满足高精度的加工要求。

2、增加断线检测功能,以便系统在出现断线时进行停机处理。控制系统中,主轴、收放线、进给之间必须保持高速的同步关系,在启动、加速、匀速、减速运动的各个阶段必须保证系统的高度同步,使用微秒伺服的独有的超级同步功能,当主轴变化时从轴即跟随主轴位置。

3、张力轴使用内部转矩,主轴适当增加加减速时间减少张力轴震荡

4、收放卷两个轴和排线两个轴为多圈绝对值编码器,使用主轴分频,增加卷径计算,跟随主轴正反转。以当前位置为零点,根据切割线直径和收放卷轴上的卷芯算出每层切割线的圈数,根据卷芯直径算出第一层切割线周长,每增加一层算出每层的周长,排线放线轴使用凸轮内部生成排线曲线实现切割线在卷芯上的紧密排列。

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